Kõrge puhtusastmega{0}}pooljuhtgaasi õhueraldusseade

Põhitehnoloogia

Ultra{0}}puhas eeltöötlus:"Kolme-astmeline filtreerimine + kahekordne adsorptsioon + katalüütiline deoksügeenimine" – ULPA filtrid ja kõrgtemperatuursed molekulaarsõelad eemaldavad vee (kastepunkt alla -90 kraadi või sellega võrdne) ja CO₂ (vähem kui 0,01 ppm või sellega võrdne) ning pallaadiumi või 0,0 ppm kuni Lee katalüsaatoriga. destilleerimise aluse panemine.
 

Krüogeenne destilleerimine:"Mitme-torni kaskaad + suure-tõhususega pakkimine" – põhitornis kasutatakse 316 liitrit lainepapist pakki, et eraldada 5N puhtusastmeni. Lisatakse lämmastiku/argooni rafineerimistorn, et saavutada lämmastiku lõplik puhtus 7N ja argooni puhtus 7,5N, eemaldades lisandijäägid (metaan 0,05 ppb või vähem).

 

Ultra{0}}puhas järel{1}}hooldus:Eksklusiivne puhastus sekundaarse saastumise vältimiseks – PTFE filtrid filtreerivad osakesi, mis on suuremad kui 0,01 μm või sellega võrdsed, ioonivahetuskolonnid vähendavad metalliioone ja aktiivsöekanistrid kontrollivad lenduvaid orgaanilisi aineid 0,05 ppb või alla selle.
 

Stabiilne kohaletoimetamise kontroll:Täppis-suletud ahelaga-süsteem – pooljuht-klassi MFC, 316L EP-klassi torustik (Ra Väiksem või võrdne 0,2 μm), täisautomaatne keevitamine (kvalifitseeritud määr 100%), ühildub SEMI F30-ga.

 

tööpõhimõte

 

 

 

Mitmeastmelise komposiit-eeltöötluse põhimõte

Kolmeastmeline seos "filtreerimine + adsorptsioon + katalüüs": ULPA filtrid ja kõrge -temperatuuri molekulaarsõelad eemaldavad vee (kastepunkt alla -90 kraadi või sellega võrdne) ja CO₂ (vähem kui 0,01 ppm või sellega võrdne), samal ajal kui pallaadiumikatalüsaatorid 0 ppm eemaldavad hapnikku ja Leesid. kõrge puhtuse alus.

 

 

Sügav-külmdestilleerimise ja fraktsioneeriva eraldamise põhimõte

Kasutades ära hapniku, lämmastiku ja argooni keemistemperatuuri erinevusi, kasutatakse puhastamiseks järjestikku mitut kolonni: 316 liitrise täidisega põhikolonn saavutab esialgse eraldumise 5N-ni; lämmastiku/argooni rafineerimiskolonn (-196 kraadi) eemaldab lisandijäägid, saavutades lõpuks lämmastiku kontsentratsiooni 7N ja argooni kontsentratsiooni 7,5N (metaan 0,05 ppb või vähem).

 

 

Puhastusjärgse-puhastusjärgse-reostuse vältimise põhimõte

Patenditud puhastus hoiab ära sekundaarse saastumise: PTFE filtrid, ioonivahetuskolonnid vähendavad metalliioone (vähem kui 0,01 ppb või sellega võrdne) ja aktiivsöekanistrid kontrollivad lenduvate orgaaniliste ühendite sisaldust 0,05 ppb või alla selle, tagades gaasi puhtuse.

 

 

Kõrge-täpse suletud-ahela edastamise juhtimise põhimõte

"Kõrge-täppiskontroll + puhas torustik": pooljuht-klassi MFC ja 316L EP-torustik (Ra vähem kui 0,2 μm või sellega võrdne) keevitatakse täielikult automaatselt, et tagada stabiilne edastamine ja muutumatu puhtus.

 

1. Kas selle seadmega toodetud gaasi puhtust saab kohandada erinevate pooljuhtprotsesside nõuetele?

Saame kohandada puhtusastmega lahendusi konkreetsete protsessinõuete alusel. Rafineerimistorni protsessi ja järeltöötluse mooduleid kohandades{1}} saame saavutada stabiilse väljundi, mis vastab 14 nm protsesside nõuetele. Kõrge -puhtusastmega gaase täiustatud protsesside jaoks, sealhulgas alltoodud protsesside jaoks, saab optimeerida tulevaste protsesside uuendamiseks, ilma et oleks vaja seadmeid täielikult välja vahetada.
 

2. Kuidas vältida sekundaarset gaasi saastumist seadmete töötamise ajal? Pooljuhtide tootmine nõuab äärmiselt kõrget puhtuse taset.

See on tagatud kahel viisil: esiteks eemaldab spetsiaalne üli{0}}puhas järel-töötlussüsteem pisikesed osakesed ja metalliioonid selliste protsesside kaudu nagu ultrafiltreerimine ja ioonivahetus. Teiseks kasutatakse tarneprotsessis spetsiaalseid torustiku materjale ja optimeeritud keevitustehnikaid, et minimeerida lisandite adsorptsiooni torustiku seintele, vältides seeläbi gaasi sekundaarset saastumist kogu protsessi vältel.
 

3. Seadme töötamise ajal võivad gaasivoolu ja rõhu kõikumised mõjutada pooljuhtide töötlemist. Kuidas tagada stabiilsed parameetrid?

Kõrge täpsusega-suletud-ahela juhtimissüsteem koos professionaalse vooluregulaatoriga reaalajas parameetrite-reguleerimiseks ja optimeeritud torustiku konstruktsiooniga kontrollib tõhusalt voolu- ja rõhukõikumisi, tagades stabiilsed gaasivarustuse parameetrid, mis vastavad pooljuhtprotsesside täpsusnõuetele.
 

4. Kas seadmete hooldus on keeruline? Kas hooldus mõjutab pooljuhtide tootmisliini pidevat tööd?

Lihtsustatud hooldusprotsess võimaldab põhikomponentide hooldusest varakult hoiatada võrguseire kaudu. Süsteem toetab ka "võrguühenduseta eelvalmistamist + võrguühendust". Põhjaliku hooldusmudeli korral nõuab kriitiline hooldus vaid lühikest seisakut ning tootmisliini häirete minimeerimiseks töötatakse välja ajutine gaasivarustusplaan.

5. Kui pooljuhtfab suurendab tulevikus võimsust, kas olemasolevaid seadmeid saab laiendada? Kas see laienemine on raske?

Seadmetel on sisseehitatud{0}}laienduspordid. Võimsuse suurendamiseks on vaja ainult vastavate rafineerimismoodulite ja transpordikomponentide lisamist, ilma südamiku destilleerimissüsteemi lahti võtmata. Protsessi üksikasjalikud arvutused ja eelvalmistamine tehakse enne laiendamist, mille tulemuseks on lühike-kohapealne ehitusperiood ja minimaalne keerukus, mis võimaldab kiiresti kohaneda võimsuse kasvu vajadustega.

Kuum tags: pooljuht kõrge puhtusastmega-gaasi õhu eraldusseade, Hiina pooljuht kõrge puhtusastmega